2025-11-20
半導體潔凈室地面系統(tǒng)需滿足嚴格的物理化學性能指標。根據(jù)SEMI標準及《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》，地面系統(tǒng)應具備以下特性：平整度誤差≤2mm/2m，耐磨轉(zhuǎn)數(shù)≥2000轉(zhuǎn)，抗壓強度≥80MPa，系統(tǒng)電阻控制在1×10^6~1×10^9Ω。同時需滿足防靜電、耐化學品腐蝕、抗熱沖擊等特殊要求。
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標簽：
凈化工程公司
工信部備案號：